Фотоиндуцированные поликонденсационные процессы в тонких пленках смешанного оксида молибдена и ванадия: перспективы создания новых фотолитографических материалов
Аннотация
На основе использования фрактального анализа атомно-силовых изображений исследован механизм УФ-стимулированной поликонденсации в пленках V2O5 : MoO3 (мольное соотношение оксидов 3 : 2), полученных из соответствующих оксокислот. Установлено, что твердофазная полимеризация смешанно-оксидных олигомеров протекает по 3D-механизму, результатом действия которого является увеличение среднего арифметического отклонения профиля поверхности оксидного слоя при одновременном уменьшении фрактальной размерности. Показано, что поликонденсация сопровождается эффектами упорядочения, приводящими к образованию агломератов зерен в виде псевдокристаллитов нанометрового размера, которые можно наблюдать на атомно-силовых изображениях после проявления в растворе кислоты. Такое упорядочение является одним из факторов, обеспечивающих размерную стабильность фотолитографических рисунков, генерированных при помощи пленок MoO3 : V2O5, и сохранение у них ровного края.
Литература
- Liu Boyang, Ho Sengtiong. Sub-100 nm nanolithography and pattern transfer on compound semiconductor using sol-gel-derived TiO2 resist. Journal of the Electrochemical Society. 2008;155(5):57–60. DOI: 10.1149/1.2883730.
- Chudnovskii FA, Stefanovich GB. Metal-insulator transition in disordered VO2. Journal of Solid State Chemistry. 1992;98(1):137–145. DOI: 10.1016/0022-4596(92)90079-B.
- van Zant P. Microchip fabrication. New York: McGraw-Hill; 1997. 611 p.
- Baraboshina AA, Sviridova TV, Tsybulskaja LS, Kokorin AI, Sviridov DV. Inorganic photoresists based on mixed oxides of molybdenum and vanadium. Doklady of the National Academy of Sciences of Belarus. 2015;59(4):68–71. Russian.
- Sviridova TV, Sadovskaya LYu, Kokorin AI, Lapchuk NM, Sviridov DV. Photoinduced processes in thin films of MoO3 and mixed V2O5 : MoO3 oxides. Russian Journal of Physical Chemistry B: Focus on Physics. 2016;10:561–565. DOI: 10.1134/S1990793116040126.
- Sviridova TV, Stepanova LI, Sviridov DV. Nano- and microcrystals of molybdenum trioxide and metal-matrix composites on their basis. In: Ortiz M, Herrera T, editors. Molybdenum: characteristics, production and applications. New York: Nova Science Publisher; 2012. p. 147–179.
- Livage J, Henry M, Sanchez C. Sol-gel chemistry of transition metal oxides. Progress in Solid State Chemistry. 1988;18(4):259–341. DOI: 10.1016/0079-6786(88)90005-2.
- Byk TV, Sokolov VG, Gaevskaya TV, Skorb EV, Noh Chang Ho, Song Ki Young, et al. Photochemical selective deposition of nickel using a TiO2 – Pd2+ layer. Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry. 2008;193(1):56–64. DOI: 10.1016/j.jphotochem.2007.06.007.
Copyright (c) 2023 Журнал Белорусского государственного университета. Химия
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующим:
- Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и предоставляют журналу право первой публикации работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial. 4.0 International (CC BY-NC 4.0).
- Авторы сохраняют право заключать отдельные контрактные договоренности, касающиеся неэксклюзивного распространения версии работы в опубликованном здесь виде (например, размещение ее в институтском хранилище, публикацию в книге) со ссылкой на ее оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы имеют право размещать их работу в интернете (например, в институтском хранилище или на персональном сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению и большему количеству ссылок на данную работу. (См. The Effect of Open Access).