Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки - Виктор Михайлович Анищик; Валентина Алексеевна Горушко; Владимир Александрович Пилипенко; Владимир Васильевич Понарядов; Виталий Александрович Солодуха; Анна Александровна Омельченко (Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2021)
Приведены результаты исследования влияния быстрой термической обработки на оптические характеристики кремния в области Г-точки зоны Бриллюэна в зависимости от типа проводимости кремниевых пластин, уровня их легирования, ковалентного радиуса легирующих примесей, а также кристаллографической ориентации поверхности пластины. Коэффициенты преломления и поглощения исходных образцов КДБ-12 ориентации <100>, КДБ-10 ориентации <111>, КДБ-0,005 ориентации <100> и КЭС-0,015 ориентации <100>, имеющих диаметр 100 мм и прошедших стандартную химико-механическую полировку, измерялись до и после быстрой термической обработки на эллипсометре Uvisel 2 (Horiba Scientific, Франция) в спектральном диапазоне 0,6–6,0 эВ (200–2100 нм). Угол падения светового пучка на образец составлял 70°. Показано, что изменение оптических характеристик поверхности кремния в спектральной области расположения Г-точки зоны Бриллюэна после проведения быстрой термической обработки обусловлено снижением поверхностного деформационного потенциала за счет твердофазной рекристаллизации механически нарушенного слоя. Установлено, что быстрая термическая обработка образцов кремния с высокой концентрацией бора приводит к более cущественному уменьшению коэффициентов преломления и поглощения, чем у образцов кремния с низкой его концентрацией, вследствие обеднения бором приповерхностной области кремния в результате диффузионных процессов на границе кремний – двуокись кремния.