Углов, В.В., Злоцкий, С.В., Солодухин, И.А. и Малашевич, А.А. 2019. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2 (май 2019), 105-111. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111.