[1]
Оджаев, В.Б., Панфиленко, А.К., Петлицкий, А.Н., Просолович, В.С., Ковальчук, Н.С., Соловьев, Я.А., Филипеня, В.А. и Шестовский , Д.В. 2020. Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 3 (окт. 2020), 55-64. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2020-3-55-64.