[1]
Анищик, В.М., Горушко, В.А., Пилипенко, В.А., Понарядов, В.В. и Солодуха, В.А. 2017. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2 (май 2017), 63-68.