Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2019, 48-53.