Углов, В. В.; Злоцкий, С. В.; Солодухин, И. А.; Малашевич, А. А. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2019, 105-111.