(1)
Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии
Журнал Белорусского государственного университета. Физика
2017
, 63-68.