Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В., & Солодуха, В. А. (2019). Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2, 48-53. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-48-53