Углов, В. В., Злоцкий, С. В., Солодухин, И. А., & Малашевич, А. А. (2019). Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2, 105-111. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111