Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., & Янковский, Ю. Н. (2020). Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2, 62-69. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2020-2-62-69