Углов В. В., Злоцкий С. В., Солодухин И. А., Малашевич А. А. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019. 2. СС. 105-111.