Бринкевич Д. И.
,
Просолович В. С.
,
Янковский Ю. Н.
Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2020. 2. СС. 62-69.