Оджаев В. Б., Панфиленко А. К., Петлицкий А. Н., Просолович В. С., Ковальчук Н. С., Соловьев Я. А., Филипеня В. А., Шестовский Д. В. Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2020. 3. СС. 55-64.