Анищик В. М., Горушко В. А., Пилипенко В. А., Понарядов В. В., Солодуха В. А. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2017. 2. СС. 63-68.