Анищик, В. М., Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Понарядов, В. В. и Солодуха, В. А. (2017) «Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии», Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2, сс. 63-68. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/441 (просмотрено: 13 ноября 2024).