[1]
В. М. Анищик, В. А. Горушко, В. А. Пилипенко, В. В. Понарядов, и В. А. Солодуха, «Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика», Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, сс. 48-53, май 2019.