[1]
В. В. Углов, С. В. Злоцкий, И. А. Солодухин, и А. А. Малашевич, «Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения», Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, сс. 105-111, май 2019.