Углов, Владимир Васильевич, Сергей Владимирович Злоцкий, Игорь Анатольевич Солодухин, и Александр Анатольевич Малашевич. «Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения». Журнал Белорусского государственного университета. Физика, no. 2мая 20, 2019: 105-111. просмотрено апреля 15, 2025. https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1358.