Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 20 мая 2019 [процитировано 14 апреля 2025];2:48-3. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1351