Углов ВВ, Злоцкий СВ, Солодухин ИА, Малашевич АА. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 20 мая 2019 [процитировано 14 апреля 2025];2:105-11. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1358