Бринкевич ДИ, Просолович ВС, Янковский ЮН. Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 4 июня 2020 [процитировано 8 мая 2025];2:62-9. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1867