Оджаев ВБ, Панфиленко АК, Петлицкий АН, Просолович ВС, Ковальчук НС, Соловьев ЯА, Филипеня ВА, Шестовский ДВ. Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 7 октября 2020 [процитировано 14 апреля 2025];3:55-4. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/2870