Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 30 мая 2017 [процитировано 13 ноября 2024];2:63-8. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/441