Лобанок МВ, Прокопьев СЛ, Моховиков МА, Королик ОВ, Гайдук ПИ. Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 8 июня 2022 [процитировано 8 апреля 2025];2:79-6. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/4684