Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 6 февраля 2019 [процитировано 11 апреля 2025];2:81-5. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/489