Константинов СВ, Комаров ФФ, Чижов ИВ, Зайков ВА, Жигулин ДВ. Влияние режимов нанесения наноструктурированных нитридных и карбонитридных покрытий на их структуру, оптические и электрофизические свойства. Журнал Белорусского государственного университета. Физика [Интернет]. 16 мая 2024 [процитировано 19 сентября 2024];2:69-3. доступно по: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/6097