Lobanok, M. V. .; Prakopyeu, S. L. .; Makhavikou, M.  A. .; Korolik, O. V. .; Gaiduk, P. I. . Formation of Epitaxial 3C-SiC Layers on Si by Rapid Vacuum Thermal Processing. Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2022, No. 2, 79-86. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2022-2-79-86.