Lobanok MV, Prakopyeu SL, Makhavikou M  A., Korolik OV, Gaiduk PI. Formation of epitaxial 3C-SiC layers on Si by rapid vacuum thermal processing. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2022;(2):79-86. doi:10.33581/2520-2243-2022-2-79-86