Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления - Анищик, Виктор Михайлович; Горушко, Валентина Алексеевна; Пилипенко, Владимир Александрович; Понарядов, Владимир Васильевич; Солодуха, Виталий Александрович (Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2019)
Представлены результаты исследования влияния быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления. Показано, что данная обработка приводит к повышению качества двуокиси кремния, сформированной на их поверхности за счет уменьшения толщины нарушенного слоя, оказывающего существенное влияние на начальный этап окисления.