Структура и свойства пленок оксида циркония, легированных оксидом иттрия, полученных методом лазерного осаждения в вакууме - Босак, Николай Александрович; Чумаков, Александр Никитич; Шевченок, Александр Аркадьевич; Баран, Людмила Владимировна; Малютина-Бронская, Виктория Владимировна; Кароза, Анатолий Григорьевич; Иванов, Алексей Александрович (Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2020)
Проведены исследования тонких пленок, осажденных в вакууме (2 ⋅ 10–2 мм рт. ст.) на кремниевую и стеклянную подложки при многоимпульсном высокочастотном (10 –15 кГц) лазерном воздействии (плотность мощности лазерного излучения 100 МВт/см2 и расстояние от мишени до подложки 40 мм), на керамику из оксида циркония ZrO2, легированную оксидом иттрия 5 % Y2O3. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней инфракрасной и средней инфракрасной области. Пропускание пленки оксида циркония на кремниевой подложке достигало 12 % в области спектра от 1,0 до 2,5 мкм, а в области от 2,6 до 6,0 мкм составляло 4,7 %. На стеклянной подложке пропускание на длине волны 643 нм равнялось 60 %, а на длине волны 2500 нм достигало 87 %. В средней инфракрасной области пропускание при волновом числе 2548 см−1 составляло 70 % и достигало 75 % при 3566 см−1. Вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики полученных пленок оксида циркония.
Keywords: высокочастотное лазерное воздействие; пассивный затвор; структура тонких пленок; ZrO2 5%Y2O3; спектр пропускания; видимая область; ближняя ИК-область; средняя ИК-область; вольт- амперная характеристика; вольт- амперная характеристика; вольт-фарадная характеристика