Влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний - Пилипенко, Владимир Александрович; Ковальчук, Наталья Станиславовна; Жигулин , Дмитрий Владимирович; Шестовский, Дмитрий Викторович; Анищик, Виктор Михайлович; Понарядов, Владимир Васильевич (Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 2023)
Исследовано влияние длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний на структурах алюминий – поликремний – двуокись кремния в целях изучения омических контактов в элементной базе интегральных микросхем. Полученные структуры были подвергнуты различным видам термообработки: стандартному (длительному) термическому отжигу (450 °С, 20 мин, среда N2), используемому для создания омических контактов на этапе производства интегральных микросхем, и быстрому термическому отжигу (450 °С, 7 с, среда Ar). Установлено, что при длительной термообработке происходит полное растворение поликремния в алюминии с последующей сегрегацией в виде отдельных остроугольных конгломератов поликремния на поверхности двуокиси кремния, что может привести к полному отказу работоспособности интегральной микросхемы. При быстрой термообработке подобного эффекта не наблюдается. Таким образом, при формировании омического контакта алюминий – поликремний на этапе производства интегральных микросхем целесообразно использовать быструю термообработку, которая существенно уменьшает растворение поликремния в алюминии и тем самым способствует формированию омического контакта.
Keywords: граница раздела алюминий – поликремний; омический контакт; быстрая термообработка; интегральная микросхема; растровая электронная микроскопия; энергодисперсионный микроанализ