Анищик, В.М. и др. 2019. Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2 (май 2019), 48–53. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-48-53.