[1]
Бринкевич, Д.И. и др. 2020. Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2 (июн. 2020), 62–69. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2020-2-62-69.