[1]
Оджаев, В.Б. и др. 2020. Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 3 (окт. 2020), 55–64. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2020-3-55-64.