[1]
Лобанок, М.В. и др. 2022. Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2 (июн. 2022), 79–86. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2022-2-79-86.