Демидович, С.А. и др. 2026. Получение пленок нитрида кремния для формирования диэлектрических и пассивирующих слоев в высоковольтных GaN-транзисторах. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 1 (мар. 2026), 44–52. DOI:https://doi.org/10.33581/2520-2243-2026-1-%p.