Углов, В. В.; Злоцкий, С. В.; Солодухин, И. А.; Малашевич, А. А. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2019, вып. 2, 105-111. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111.