Углов ВВ, Злоцкий СВ, Солодухин ИА, Малашевич АА. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019;(2):105-111. doi:10.33581/2520-2243-2019-2-105-111