Анищик ВМ, Горушко ВА, Пилипенко ВА, Понарядов ВВ, Солодуха ВА. Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019;(2):48-53. doi:10.33581/2520-2243-2019-2-48-53