Бринкевич ДИ, Просолович ВС, Янковский ЮН. Модификация пленок диазохинонноволачного фоторезиста имплантацией ионов бора. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2020;(2):62-69. doi:10.33581/2520-2243-2020-2-62-69