Оджаев ВБ, Панфиленко АК, Петлицкий АН, и др. Влияние ионной имплантации азота на электрофизические свойства подзатворного диэлектрика силовых МОП-транзисторов. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2020;(3):55-64. doi:10.33581/2520-2243-2020-3-55-64