Гончаров ВК, Пузырев МВ, Ступакевич ВЮ, Шульган НИ. Пространственное распределение плотности ионного потока в лазерно-плазменном источнике для нанесения нанопокрытий на подложки увеличенных размеров. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2021;(2):81-87. doi:10.33581/2520-2243-2021-2-81-87