Лобанок МВ, Прокопьев СЛ, Моховиков МА, Королик ОВ, Гайдук ПИ. Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2022;(2):79-86. doi:10.33581/2520-2243-2022-2-79-86