Оджаев ВБ, Петлицкий АН, Просолович ВС, и др. Электрофизические характеристики силовых МОП-транзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2022;(3):81-92. doi:10.33581/2520-2243-2022-3-81-92