Демидович СА, Юник АД, Козодоев СВ, Ковальчук НС, Демидович АГ. Получение пленок нитрида кремния для формирования диэлектрических и пассивирующих слоев в высоковольтных GaN-транзисторах. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2026;(1):44-52. doi:10.33581/2520-2243-2026-1-%p