Демидович, С. А., Юник, А. Д., Козодоев, С. В., Ковальчук, Н. С., & Демидович, А. Г. (2026). Получение пленок нитрида кремния для формирования диэлектрических и пассивирующих слоев в высоковольтных GaN-транзисторах. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, 1, 44-52. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2026-1-%p