УГЛОВ, Владимир Васильевич; ЗЛОЦКИЙ, Сергей Владимирович; СОЛОДУХИН, Игорь Анатольевич; МАЛАШЕВИЧ, Александр Анатольевич. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx, сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, [S. l.], n. 2, p. 105–111, 2019. DOI: 10.33581/2520-2243-2019-2-105-111. Disponível em: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1358. Acesso em: 17 июл. 2026.