АНИЩИК, Виктор Михайлович; ГОРУШКО, Валентина Алексеевна; ПИЛИПЕНКО, Владимир Александрович; ПОНАРЯДОВ, Владимир Васильевич; СОЛОДУХА, Виталий Александрович. Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика. Журнал Белорусского государственного университета. Физика, [S. l.], n. 2, p. 48–53, 2019. DOI: 10.33581/2520-2243-2019-2-48-53. Disponível em: https://journals.bsu.by/index.php/physics/article/view/1351. Acesso em: 17 июл. 2026.