[1]
В. М. Анищик, В. А. Горушко, В. А. Пилипенко, В. В. Понарядов, и В. А. Солодуха, «Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика», Журнал Белорусского государственного университета. Физика, вып. 2, сс. 48–53, май 2019, doi: 10.33581/2520-2243-2019-2-48-53.